CGSim とは,融液・溶液からのバルク・エピ結晶成長シミュレーションソフトウェアです。 CGSim は各種バルク結晶成長方法および結晶に対応しており,Basic module, Flow module, Module Defects, 3D Flow module を組み合わせて使うことにより,装置内の温度分布,ガス及び融液対流,固液界面形状,格子欠陥などを求めることが出来ます。 また,3次元解析にも対応しております。
主な新機能と改善点
Basic module
- 磁場(垂直、カスプ)との連成解析が可能(図1)
- 結晶の熱応力計算が可能(図2)
- View2Dモジュールによる可視化(図3)
- 解析事例の追加
Flow module
- 磁場計算を含む3D計算モデルのメッシュ制限の緩和

図1 MCz シリコン結晶成長 温度分布、及び磁力線分布(左)設定画面(右)

図2 結晶内の熱応力分布、及び温度分布(左)設定画面(右)

図3 View2D GUI画面