CGSim とは,融液からのバルク結晶成長シミュレーションソフトウェアです。 CGSim は各種バルク結晶成長方法および結晶に対応しており,Basic module, Flow module, Module Defects, 3D Flow module を組み合わせて使うことにより,装置内の温度分布,ガス及び融液対流,固液界面形状,格子欠陥などを求めることが出来ます。 また,3次元解析にも対応しております。
主な新機能と改善点
Basic module
- 融液とガスの内部領域の近似精度の改善
- 乱流モデルにおいて坩堝の回転の影響の考慮が可能
- 乱流モデルにおいて壁関数の設定が可能
- プラントル数の任意設定が可能
- ヒーターパワー計算時に、PID制御の考慮が可能
- "Cz Dynamics module"* で,チョクラルスキー法での非定常引上げ解析が可能
- 再融解、再結晶化機能の追加により、一連のプロセス中における温度分布、融液対流、結晶化(一方向凝固法)の解析が可能
- 融液中の不純物の輸送と一方向凝固法での偏析解析が可能
* この機能を使用するためには,別ライセンスが必要です。
Flow module
- 一方向凝固法の非定常解析の安定化
- 不純物の輸送と偏析解析が可能

fig.2 偏析解析による多結晶シリコン中の不純物濃度分布結果