CVDSim HVPE Edition Add-on for FLUENT March 2009
CVDSim HVPE Edition Add-on for FLUENT とは
Fluent 上で動作する（Solver は Fluent）CVD プロセス専用のアドオンモジュールです。
HVPE Edition は，H2/N2 をキャリアガスとして，液体Ga にHCl を供給して生成する GaCl およびNH3 を用いた系において，ハイドライド気相エピタキシャル成長法（HVPE法）によるGaN 結晶成長をシミュレーションすることが出来ます。
New model
- Low-Temperature Kinetics of GaN HVPE 反応律速におけるGaN の成長モデル
- AlN, AlGaN HVPE モデル
機能追加
- Extended Species List in the Model of GaN HVPE GaN HVPE モデルの扱う化学種の追加
CVDSim HVPE Edition Add-on for FLUENT March 2009 新機能等のご紹介