CVDSim Nitride Edition Add-on for CFD-ACE+ June 2011
CVDSim Nitride Edition Add-on for CFD-ACE+ とは
CFD-ACE+(ソルバー) 上で動作する CVD プロセス専用のアドオンモジュールです。
Nitride Edition は，III属の窒化物に対する有機金属気相エピタキシャル成長(MOCVD)をシミュレーションする為のモジュールです．
標準的な前駆体とNH3，キャリアガスとして H2, N2を用い，GaN，AlN，AlGaN，
InGaN，及び p-GaN の成膜をカバーしています．
反応モデルは，温度の低い反応律速の領域から拡散・脱離律速までの広い領域をカバーし，気相中のナノパーティクルの生成やリアクター内壁の寄生反応，III族組成についても考慮されています．
機能追加
- AlNモデルの更新
- AlInNモデルのリリース
CVDSim Nitride Edition Add-on for CFD-ACE+ June 2011 新機能等のご紹介