CVDSim SiC Edition Add-on for CFD-ACE+ Aug/2011
CVDSim SiC Edition Add-on for CFD-ACE+ とは
CFD-ACE+(ソルバー) 上で動作する CVD プロセス専用のアドオンモジュールです。
CVDSim SiC edition（以下、CVDSim）とは、CFD-ACE+（ソルバー）と組み合わせて使うことによりリアクター壁面での寄生成長およびパーティクル生成等のCVD法での高度なSiC薄膜結晶成長解析が可能なアドオンソフトウェアです。
反応モデルの適応温度範囲は、1400〜2200℃と広く、CVD法及びHTCVD法に対応しております．成膜反応だけではなく，成膜速度に影響する気相中のパーティクル生成とその輸送及びリアクター内壁の寄生反応や塩素を含んだガス種のエッチングについても考慮されています．
機能追加
- 新しい前駆体のモデルの追加
- アウトプット機能の拡張
CVDSim SiC Edition Add-on for CFD-ACE+ Aug/2011 新機能等のご紹介