擬似定常近似から、HVPE法の結晶成長モデリングが可能なシミュレーションソフトウェアです。
Version 5.5の新機能として、HVPE法でのAlNもしくはAlGaN結晶成長も解析可能です。
Steady State Mass transfer
反応性化学種(以下)の多成分拡散を含んだ定常状態物質輸送解析モジュール
- GaN結晶成長 : GaCl, HCl, NH3, N2, H2
- AlN結晶成長 : AlCl3, AlCl, NH3, H2, N2, HCl
- AlGaN結晶成長 : AlCl3, AlCl, GaCl, GaCl3, NH3, H2, N2, HCl
擬似定常近似から、成長中の結晶形状の時間遷移予測
例 : AlGaN結晶成長モデル