Virtual-Reactor（以下，VR）とは，気相からのバルク結晶成長シミュレーションソフトウェアです。 VRは各種バルク結晶成長方法および結晶に対応しており，装置内の温度分布，各種成分濃度分布，応力分布，結晶形状，転移密度分布などを求めることが出来ます。
主な新機能と改善点
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・VR CVD SiC エディションへのSi粒子生成モデルの追加
- SiH4/C3H8系にSi粒子生成モデルが追加されました。
- SiH4/C3H8系の表面反応においてカイネティクスの効果が追加されました。
- 対流伝熱計算の精度の改善
- 乱流計算の精度の改善
- 幾つかのバグの修正
・全てのエディションにおける改善点
fig.1 各圧力における基板周囲のSi粒子密度分布