Virtual-Reactor（以下，VR）とは，気相からのバルク結晶成長シミュレーションソフトウェアです。 VRは各種バルク結晶成長方法および結晶に対応しており，装置内の温度分布，各種成分濃度分布，応力分布，結晶形状，転移密度分布などを求めることが出来ます。
主な新機能と改善点
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●Basic module Solverの主な機能追加
- 壁の回転を考慮した対流計算機能の追加（図１）
- 熱の計算とRF計算の連成解析（電気伝導率の温度依存性の考慮）（図２）
- PVT-AlN editionにおけるAlN多結晶寄生付着モデルの追加（図３）
- PVT-AlN editionにおけるファセッティングモデルの追加（図４）
- 結晶成長速度に応じた結晶の引き上げ機能の追加（図５）
- エッチングによる結晶形状変化の無効機能の追加（図６）
- 座標/温度テーブルのテキストデータ読み込み機能の追加（図７）
- ガス、及び原料パウダーの温度依存物性のグラフ表示機能（図８）
- DXFファイル読み込み精度の設定機能の追加（図９）
- プロセス条件のコピー/ペースト機能の追加（図１０）
- 重力加速度の設定機能の追加（図１１）
- ブロックの配置表示（図１２）
- 新しいコンターカラータイプの追加（図１３）
- ログスケールの表示（図１４）
- 1D, 2Dイメージのクリップボードへのコピー（図１５）
- ”Reread”機能の追加（図１６）
- 1D Visualizationにおける新しい出力（図１７）
●Graphical User Interface (GUI)の主な機能追加
●1D, 2D Visualizationの主な機能追加
図.１ 壁の回転を考慮した計算結果 （流速分布、及び対流パターン）
図.２ （上）RF計算と熱計算のオプション設定画面 (下)グラファイトの温度依存の電気伝導率設定画面
図.３ （左）AlN寄生付着境界条件設定画面（右）寄生付着を考慮した計算結果（上）0時間後 （下）10時間後
図.４ PVT AlN edition ファセッティング設定画面
図.５ 成長速度に応じて結晶を移動させた計算結果
図.６ “Prohibit Etching”オプション設定画面
図.７(左）座標・温度データフォーマット （右）テキストデータ読み込み画面
図.８ ガス・パウダーの熱伝導率温度依存性プロット表示 （左）ガス熱伝導率”MKT”モデルのプロット （右）パウダー熱伝導率”SiC powder”モデルのプロット
図.９ DXFデータ読み込み精度設定画面
図.１０ Process condition設定画面
図.１１ Model Parameterにて重力加速度の設定画面
図.１２ 2D Visualization マテリアルシンボルカラーと温度分布表示画面
図.１３ Sign-dependent Red/Blueコンター表示 （左）結晶内熱応力分布 （右）PVT AlN edition 過飽和度(Supersaturation)分布
図.１４ logスケールコンター表示
図.１５ 2D Visualization 画像コピー、貼り付け
図.１６ ”Reread”機能の追加
図.１７ Orientation_Angle [°]、Kinetic_Coeffプロット